真空泵选型

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室

内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气

到较高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空

系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标

、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选

择不同的真空系统配置。为达到佳配置，选择真空系统

时， 应考虑下述各点:

确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的

真空度，因为系统的真空度决定了系统的佳工作真

空度。一般来讲，系统的真空度比系统的工作真空度

低20%，比前级泵的真空度低50%。被抽气体种类与抽

气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被

抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时

必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量

。

真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空

管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要

求条件下维持真空需要的抽气速率。